薄膜应力仪应力检测仪3DMapping

  美国Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年，总部在圣何塞，多年来为半导体职业等高新职业供给各式精细的丈量设备，客户遍及, 根本的产品包含:光学丈量设备: 三维轮廓仪、拉曼光谱、 薄膜应力丈量设备、 红外干与厚度丈量设备、电学丈量设备:高温四探针丈量设备、非触摸式片电阻及 漏电流丈量设备、金属污染剖析、等效氧化层厚度剖析 (EOT)

  在衬底镀上薄膜后, 由于两者原料不一样, 所以会引起应力. 如应力太大会引起薄膜掉落, 终究引致组件失效或可靠性欠安的问题. 薄膜应力激光丈量仪使用激光丈量样本的描摹,透过比较镀膜前后衬底曲率半径的改变, 以Stoney’s Equation计算出应力, 是品检及改善工艺的有用手法。